低頻率的橡膠空氣彈簧隔振

橡膠空氣彈簧組成的低頻隔振系統(tǒng)的設(shè)計和性能。從壓印光刻機的結(jié)構(gòu)可以看出，該儀器具有較高的精度空氣彈簧性能，但由于外界環(huán)境的振動激發(fā)，儀器的各個部件會產(chǎn)生較大的相對振動，從而降低精度。系統(tǒng)的影響更大。這就需要采取有效的隔振措施。根據(jù)隔振要求，采用橡膠空氣彈簧作為隔振裝置，以達到隔絕外界振動的目的。需要橡膠空氣彈簧隔離5Hz以上的振動干擾，隔振效率可達90%以上。

橡膠空氣彈簧是一種氣動隔振器。橡膠空氣彈簧的載荷和位移特性如圖1所示。在工作范圍內(nèi)，位移不隨載荷的增加而變化，即零壓縮特性。橡膠空氣彈簧工作時，內(nèi)腔充滿壓縮空氣(工作壓力≤0.7MPa)，形成壓縮空氣柱。彈簧高度降低，內(nèi)腔容積降低，彈簧剛度增大，內(nèi)腔氣柱有效承載面積增大。當(dāng)承載能力降低時，彈簧高度增加，內(nèi)腔容積增加。彈簧剛度降低，內(nèi)腔氣柱有效承載面積降低，此時彈簧承載能力降低。在有效行程中，空氣彈簧的高度、腔體體積和承載能力會隨著振動載荷的波動而平穩(wěn)靈活地傳遞。

當(dāng)存在低頻（5Hz~10Hz）激振力時，橡膠空氣彈簧壓力隔振器可以保護精密儀器部件免受低頻激振力的激勵。它是一種非常合適的隔振器。用于確定0.5Hz2·橡膠空氣彈簧隔振傳遞率、剛度和系統(tǒng)固有頻率的共振頻率（即系統(tǒng)固有頻率）。